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ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)

采用數(shù)碼5軸控制的磁力軸承的復合翼狀渦輪分子泵。UTM-FH，UTM-FW通過數(shù)碼5軸控制磁懸軸承的采用，實現(xiàn)高功能·高可靠性·節(jié)約能源對應等優(yōu)勢。愛發(fā)科數(shù)碼磁力軸承型渦輪分子真空泵維修

ULVAC的渦輪分子泵，擁有適合研究·開發(fā)·生產(chǎn)用途等廣泛陣容的產(chǎn)品。根據(jù)使用目的·用途·應用可任意選擇。愛發(fā)科軸承型渦輪分子真空泵 UTM系列維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10,000-0.1Pa領域的排氣速度。愛發(fā)科羅茨真空泵PMC-040C PMC-060C維修

羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用，可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領域的排氣速度。 PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導體、液晶制造使用設計的羅茨泵。可以選擇大氣驅(qū)動型。愛發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修